上海微釜半导体设备取得真空阀以及化学气相沉积系统专利,用于调节出气口和中空腔体之间的气体流量
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金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,上海微釜半导体设备有限公司取得一项名为“真空阀以及化学气相沉积系统”的专利,授权公告号 CN 222717451 U,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请公开了一种真空阀以及化学气相沉积系统。其中真空阀包括:主阀体,具有中空腔体、与中空腔体连通的出气口及与中空腔体连通的进气口;活塞组件,包括设置于中空腔体内的活塞件及与活塞件连接的阀门件,活塞件可在外力作用下沿中空腔体移动以带动阀门件移动,以使得出气口和中空腔体之间的第一流道打开或关闭;以及流量调节组件,用于调节出气口和中空腔体之间的气体流量。
天眼查资料显示,上海微釜半导体设备有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本997.4641万人民币,实缴资本576.6234万人民币。通过天眼查大数据分析,上海微釜半导体设备有限公司参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息9条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自金融界